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LODAS™ – BI12GlassWafe缺陷檢查裝置
LODAS™ – BI8Photomask Blanks缺陷檢查裝置
LODAS™ – AI50/100Photomask Blanks缺陷檢查裝置
FR-Ultra 晶圓厚度測(cè)量系統(tǒng)
FR-Scanner AIO-Mic-RΘ150自動(dòng)化高速薄膜厚度測(cè)量?jī)x
WM 300光學(xué)粗糙度測(cè)試儀
PLS-F1000晶圓幾何形貌測(cè)量及參數(shù)自動(dòng)檢測(cè)機(jī)
P03Q-6LS Plasma微波等離子清洗機(jī)
Nanotronics nSpec Macro微流控缺陷檢測(cè)
Delcom 20J3 STAGE薄膜電阻測(cè)量?jī)x
Nanotronics nSpec LS晶圓缺陷檢測(cè)光學(xué)系統(tǒng)
Herz電鏡隔振臺(tái)
Filmetrics F3-sX硅片厚度測(cè)量
StrainScope Flex可調(diào)式實(shí)時(shí)應(yīng)力儀
實(shí)時(shí)型StrainScope S3/S4 應(yīng)力儀
拼接型StrainMatic stepper應(yīng)力儀
高精度型StrainMatic M4薄膜應(yīng)力測(cè)試儀
Filmetrics F3-sX半導(dǎo)體薄膜測(cè)量?jī)x
