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        當(dāng)前位置:首頁(yè)  >  產(chǎn)品中心  >  晶圓缺陷檢測(cè)  >  LAZIN  >  LODAS™ – BI8Photomask Blanks缺陷檢查裝置

        Photomask Blanks缺陷檢查裝置

        簡(jiǎn)要描述:LODAS™ – BI8是列真株式會(huì)社推出的一款Photomask Blanks缺陷檢查裝置。

        • 產(chǎn)品型號(hào):LODAS™ – BI8
        • 廠(chǎng)商性質(zhì):代理商
        • 產(chǎn)品資料:
        • 更新時(shí)間:2024-11-09
        • 訪(fǎng)  問(wèn)  量: 1462

        詳細(xì)介紹

        列真株式會(huì)社自創(chuàng)業(yè)以來(lái),秉承“挑戰(zhàn)"、“創(chuàng)造"、“誠(chéng)實(shí)"的經(jīng)營(yíng)理念,為顧客提供可靠、可信的產(chǎn)品和服務(wù)。運(yùn)用激光掃描技術(shù),專(zhuān)門(mén)制造、銷(xiāo)售半導(dǎo)體材料表面及內(nèi)部檢查、石英玻璃表面檢查等檢查裝置。

        特征:

        • 可檢查鉻膜、半色調(diào)膜、光阻膜

        • 白缺陷、黑缺陷的自動(dòng)判別

        • 不僅是表面缺陷,內(nèi)部缺陷和背面缺陷也同時(shí)檢查。

        • 有助于缺陷分析的4種Review圖像。

        • “AI Classify"進(jìn)行缺陷分類(lèi)、好壞判定。

        • 免維護(hù)。

        • 世界FIRST使用反射散射光、透射散射光、共聚焦光的混合檢查裝置。

        • 能檢出至今為止檢查不出的缺陷。

        檢出缺陷:顆粒、劃痕、凹坑、氣泡。

        規(guī)格:

        • 檢查激光:405nm 200mW LaserDiode

        • 檢查時(shí)間:180sec

        • 檢查對(duì)象:6英寸 Photomask blanks

        • 設(shè)備尺寸:WxDxH=450x500x730mm

        • 使用電源:AC100V~200V 10A



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