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        光學(xué)粗糙度測試儀

        簡要描述:OptoScan&#160;600是一款光學(xué)粗糙度測試儀,主要用于檢測晶圓缺陷、粗糙度、波紋度、翹曲度等數(shù)據(jù)。

        • 產(chǎn)品型號(hào):OptoScan 600
        • 廠商性質(zhì):代理商
        • 產(chǎn)品資料:
        • 更新時(shí)間:2024-11-09
        • 訪  問  量: 2254

        詳細(xì)介紹

        X/Y 掃描 600x600 (mm) 的面板

        OptoScan 600 光學(xué)粗糙度測試儀應(yīng)用:

        整體晶圓快速精確檢查

        • 缺陷

        • 粗糙度

        • 波紋度

        • 翹曲

          檢測臺(tái)

        直線電機(jī) X/Y

        700 x 700 (mm)

        (Witte) 真空吸盤

        帶旋轉(zhuǎn)攝像頭傳感器

        OptoScan 600 光學(xué)粗糙度測試儀 檢測結(jié)果

        扇出型封裝面板 (FOPLP ) 研磨后的模具粗糙度

        Ra values 0.15 µm / Disco Machine.

        測量通過拼接 148 次局部區(qū)域掃描(約需 1 小時(shí))


        其他推薦:德國OptoSurf WaferMaster WM 300 角分辨光散射(ARS)技術(shù)粗糙度測量系統(tǒng)

        先進(jìn)半導(dǎo)體封測應(yīng)用工藝如扇出型晶圓級(jí)封裝 (FOWLP) 及扇出型面板級(jí)封裝(FOPLP) 需將晶圓或面板減薄至 50 - 30 µm ,于是晶背研磨工藝后的晶圓粗糙度測量極其重要。OptoSurf 的角分辨散射粗糙度測量系統(tǒng)取代了傳統(tǒng)的 WLI (白光干涉)或 AFM (原子力顯微鏡 )小面積測量技術(shù)已經(jīng)用于超導(dǎo)的高質(zhì)量拋光金屬表面的表面測量中得到充分證明,可在 30 秒內(nèi)精準(zhǔn)測量< 1 nm 的 Ra 值以獲得整個(gè)200 毫米晶圓區(qū)域的粗糙度以及微米范圍內(nèi)的翹曲和納米范圍內(nèi)的波紋度。

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