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        全自動(dòng)帶顯微鏡多點(diǎn)測(cè)量

        簡(jiǎn)要描述:FR-Mic 多層膜厚度測(cè)試儀是一款快速、準(zhǔn)確測(cè)量薄膜表征應(yīng)用的模塊化解決方案,可以將光斑縮小到幾個(gè)微米,進(jìn)而分析微小區(qū)域或者粗糙表面薄膜特征。

        • 產(chǎn)品型號(hào):FR-Mic
        • 廠商性質(zhì):代理商
        • 產(chǎn)品資料:
        • 更新時(shí)間:2024-11-09
        • 訪  問  量: 5503

        詳細(xì)介紹

          FR-Mic多層膜厚度測(cè)試儀是一款快速、準(zhǔn)確測(cè)量薄膜表征應(yīng)用的模塊化解決方案,可以將光斑縮小到幾個(gè)微米,進(jìn)而分析微小區(qū)域或者粗糙表面薄膜特征。它可以配備一臺(tái)專用計(jì)算機(jī)控 制的 XY 工作臺(tái),使其快 速、方便和準(zhǔn)確地描繪樣品的厚度和光學(xué)特性 。也可以搭配自動(dòng)平臺(tái)測(cè)量 400x400mm 大小樣品。
          Thetametrisis利用 FR-Mic,通過紫外/ 可見/ 近紅外可輕易對(duì)局部區(qū)域薄膜厚度,厚度映射,光學(xué)常數(shù),反射率,折射率及消光系數(shù)進(jìn)行測(cè)量。
          【相關(guān)應(yīng)用】
          高校 & 研究所實(shí)驗(yàn)室
          半導(dǎo)體制造 (氧化物/氮化物, 硅膜, 光刻膠及其他半導(dǎo)體薄膜.)
          MEMS 器件 (光刻膠, 硅膜等.)
          LEDs, VCSELs 多層膜測(cè)量應(yīng)用
          數(shù)據(jù)存儲(chǔ)
          陽(yáng)極處理氧化膜
          曲面基底的硬化涂層
          聚合物膜層, 粘合劑.
          生 物醫(yī)學(xué)(聚對(duì)二甲苯, 生物膜/氣泡壁厚度.)
          OEM或客制化應(yīng)用
          【特點(diǎn)】
          實(shí)時(shí)光譜測(cè)量
          薄膜厚度,光學(xué)特性,非均勻性測(cè)量, 厚度映射
          使用集成 USB 高品質(zhì)彩色攝像機(jī)進(jìn)行成像 (所視即所測(cè))

        【技術(shù)參數(shù)】


          *測(cè)量面積(收集反射或透射信號(hào)的面積)與顯微鏡物鏡和 FR-uProbe 的孔徑大小有關(guān)。
          【工作原理】


          1、規(guī)格如有更改,恕不另行通知;
          2、測(cè)量結(jié)果與校準(zhǔn)的光譜橢偏儀和 XRD 相比較,
          3、連續(xù) 15 天測(cè)量的標(biāo)準(zhǔn)方差平均值。樣品:(1um SiO2 on Si.) ,
          4、100 次厚度測(cè)量的標(biāo)準(zhǔn)方差,樣品:1um SiO2 on Si.
          5、超過 15 天的標(biāo)準(zhǔn)偏差日平均值樣品:1um SiO2 on Si。
          6、使用反射式物鏡。





         

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