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        EVG850 TB-自動化臨時鍵合系統(tǒng)

        簡要描述:EVG850 TB-自動化臨時鍵合系統(tǒng) EVG鍵合機 全自動的臨時鍵合系統(tǒng)(晶圓鍵合機)可在一個自動化工具中實現整個臨時鍵合過程-從臨時鍵合劑的施加,烘焙,將設備晶圓與載體晶圓的對準和鍵合開始。

        • 產品型號:
        • 廠商性質:代理商
        • 產品資料:
        • 更新時間:2024-11-09
        • 訪  問  量: 2316

        詳細介紹

        EVG850 TB-自動化臨時鍵合系統(tǒng) EVG鍵合機

        應用:全自動將臨時晶圓晶圓鍵合到剛性載體上

        一、簡介

               全自動的臨時鍵合系統(tǒng)(晶圓鍵合機)可在一個自動化工具中實現整個臨時鍵合過程-從臨時鍵合劑的施加,烘焙,將設備晶圓與載體晶圓的對準和鍵合開始。與所有EVG的全自動工具(晶圓鍵合機)一樣,設備布局是模塊化的,這意味著可以根據特定過程對吞吐量進行優(yōu)化。可選的在線計量模塊允許通過反饋回路進行全過程監(jiān)控和參數優(yōu)化。

               由于EVG的開放平臺,因此可以使用不同類型的臨時鍵合粘合劑,例如旋涂熱塑性塑料,熱固性材料或膠帶。

        EVG850 TB-自動化臨時鍵合系統(tǒng) EVG鍵合機二、EVG鍵合機特征

        開放式膠粘劑平臺
        各種載體(硅,玻璃,藍寶石等)
        適用于不同基板尺寸的橋接工具功能
        提供多種裝載端口選項和組合
        程序控制系統(tǒng)
        實時監(jiān)控和記錄所有相關過程參數
        *集成的SECS / GEM接口
        可選的集成在線計量模塊,用于自動反饋回路
        三、EVG鍵合機技術數據

        晶圓直徑(基板尺寸):長300毫米,可能有超大的托架、不同的基材/載體組合
        組態(tài):
        外套模塊
        帶有多個熱板的烘烤模塊
        通過光學或機械對準來對準模塊
        鍵合模塊
        四、選件

        在線計量
        ID閱讀
        高形貌的晶圓處理
        翹曲的晶圓處理

         

         

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