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        當(dāng)前位置:首頁  >  產(chǎn)品中心  >  EVG鍵合機(jī)  >  晶圓鍵合機(jī)  >  EVG850 DB-自動(dòng)解鍵合系統(tǒng)(晶圓鍵合機(jī))

        EVG850 DB-自動(dòng)解鍵合系統(tǒng)(晶圓鍵合機(jī))

        簡(jiǎn)要描述:EVG850 DB-自動(dòng)解鍵合系統(tǒng)(晶圓鍵合機(jī)) 經(jīng)過處理的臨時(shí)鍵合晶圓疊層被分離和清洗,而易碎的設(shè)備晶圓始終在整個(gè)工具中得到支撐。支持的剝離方法包括UV激光,熱剝離和機(jī)械剝離。

        • 產(chǎn)品型號(hào):
        • 廠商性質(zhì):代理商
        • 產(chǎn)品資料:
        • 更新時(shí)間:2024-11-09
        • 訪  問  量: 2038

        詳細(xì)介紹

        EVG850 DB-自動(dòng)解鍵合系統(tǒng)(晶圓鍵合機(jī))

        應(yīng)用:全自動(dòng)解鍵合,清潔和卸載薄晶圓。

        一、應(yīng)用

               在全自動(dòng)解鍵合機(jī)(晶圓鍵合機(jī))中,經(jīng)過處理的臨時(shí)鍵合晶圓疊層被分離和清洗,而易碎的設(shè)備晶圓始終在整個(gè)工具中得到支撐。支持的剝離方法包括UV激光,熱剝離和機(jī)械剝離。使用所有解鍵合方法,都可以通過薄膜框架安裝或薄晶圓處理器來支撐設(shè)備晶圓。

        二、特征

        在有形和無形的情況下,都能可靠地處理變薄的,彎曲和翹曲的晶片(解鍵合)
        自動(dòng)清洗解鍵合晶圓(解鍵合)
        程序控制系統(tǒng)(解鍵合)
        實(shí)時(shí)監(jiān)控和記錄所有相關(guān)過程參數(shù)(解鍵合)
        自動(dòng)化工具中*集成的SECS / GEM界面(解鍵合)
        適用于不同基板尺寸的橋接工具功能(解鍵合)
        模塊化的工具布局→根據(jù)特定工藝優(yōu)化了產(chǎn)量(解鍵合)
        EVG850 DB-自動(dòng)解鍵合系統(tǒng)(晶圓鍵合機(jī))三、技術(shù)數(shù)據(jù)

        晶圓直徑(基板尺寸):高達(dá)300毫米;高達(dá)12英寸的薄膜面積
        組態(tài):
        解鍵合模塊
        清潔模塊
        薄膜裱框機(jī)
        四、選件(晶圓鍵合機(jī))

        ID閱讀
        多種輸出格式
        高形貌的晶圓處理
        翹曲的晶圓處理

         

         

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