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        IQ Aligner 自動掩模對準系統(tǒng)

        簡要描述:IQ Aligner 自動掩模對準系統(tǒng) 用于自動非接觸近距離掩模對準光刻,進行了處理和優(yōu)化,用于晶圓片的尺寸高達200毫米。

        • 產(chǎn)品型號:
        • 廠商性質(zhì):代理商
        • 產(chǎn)品資料:查看pdf文檔
        • 更新時間:2024-11-09
        • 訪  問  量: 2262

        詳細介紹

        IQ Aligner 自動掩模對準系統(tǒng)主要用途:

        用于自動非接觸近距離掩模對準光刻,進行了處理和優(yōu)化,用于晶圓片的尺寸高達200毫米。


        IQ Aligner 自動掩模對準系統(tǒng)是具有高度自動化程度的非接觸式接近光刻平臺,可滿足將生產(chǎn)線中的掩模污染降至蕞低并提高掩模壽命和產(chǎn)品良率的需求。除了多種對準功能外,該系統(tǒng)還通過專門配置進行了大量的的安裝和現(xiàn)場驗證,可自動支撐和處理翹曲或變薄的晶圓。標準的頂面或底面對準與集成的IR對準功能之間的混合匹配操作進一步拓寬了應用領域,尤其是在與工程或粘合(鍵合)基板對準時。該系統(tǒng)還通過快 速響應的溫度控 制工具集支持晶圓片對準跳動控 制。


        IQ Aligner 性能特征

        • 晶圓/基板尺寸從碎片到200 mm / 8''寸

        • 用于外部晶圓楔形測量,實現(xiàn)了非接觸式接近模式

        • 增強的振動隔離

        • 各種對準功能,提高了過程靈活性

        • 跳動控 制對準功能

        • 多種晶圓尺寸的易碎,薄或翹曲的晶圓處理

        • 高地貌粗糙晶圓加工經(jīng)驗

        • 手動基板裝載能力

        • 遠程技術支持和SECS / GEM兼容性

        • 附加功能:

        • 紅外對準–透射和/或反射


        技術數(shù)據(jù)

        楔形補償:全自動-軟件控 制;非接觸式

        先進的對準功能:自動對準;大間隙對準;跳動控 制對準;動態(tài)對準

        工業(yè)自動化功能:盒式磁帶/ SMIF / FOUP / SECS / GEM /薄,彎曲,翹曲,邊緣晶圓處理

        晶圓直徑(基板尺寸):高達200毫米

        對準方式:

        • 上側對準:≤±0.5 µm

        • 底側對準:≤±1,0 µm

        • 紅外校準:≤±2,0 µm /具體取決于基材

        曝光設定:真空接觸/硬接觸/軟接觸/接近模式/彎曲模式

        曝光選項:間隔曝光/整片曝光

        系統(tǒng)控 制:

        • 操作系統(tǒng):Windows

        • 文件共享和備份解決方案/無限制的配方和參數(shù)

        • 多語言用戶GUI和支持:CN,DE,F(xiàn)R,IT,JP,KR

        • 實時遠程訪問,診斷和故障排除

        產(chǎn)能:

        • 全自動:一批印刷量:每小時85片

        • *自動化:吞吐量對準:每小時80個晶圓



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