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        EVG805直接鍵合設(shè)備

        簡要描述:EVG805直接鍵合設(shè)備是一種半自動系統(tǒng),用于剝離臨時鍵合和加工的晶圓堆疊,包括器件晶圓,載體晶圓和中間臨時鍵合膠。該工具支持熱剝離或機(jī)械剝離。薄晶圓可以卸載在單個基板載體上,以便在工具之間安全可靠地轉(zhuǎn)移。

        • 產(chǎn)品型號:
        • 廠商性質(zhì):代理商
        • 產(chǎn)品資料:
        • 更新時間:2024-11-09
        • 訪  問  量: 7025

        詳細(xì)介紹

        EVG805直接鍵合設(shè)備應(yīng)用:薄晶圓臨時鍵合解鍵合,將已經(jīng)鍵合的材料從載板上剝離。應(yīng)用于TSV,儲存器,CMOS,功率器件等的加工過程。

        一、簡介

        EVG805直接鍵合設(shè)備是一種半自動系統(tǒng),用于剝離臨時鍵合和加工的晶圓堆疊,包括器件晶圓,載體晶圓和中間臨時鍵合膠。該工具支持熱剝離或機(jī)械剝離。薄晶圓可以卸載在單個基板載體上,以便在工具之間安全可靠地轉(zhuǎn)移。

        二、特征

        開放的黏合劑平臺

        解鍵合選項(xiàng):

        熱滑脫剝離

        脫黏剝離

        機(jī)械玻璃

        程序控制系統(tǒng)

        實(shí)時監(jiān)控和記錄所有相關(guān)的過程參數(shù)

        薄晶圓處理的功能

        各種卡盤設(shè)計(jì),可支持zui大300 mm的晶圓/基板和載體

        高表面地貌晶圓處理

        三、參數(shù)

        1.晶圓尺寸:zui大300mm

        2.配置:一個解鍵合模塊

        3.備選:

        紫外光輔解鍵合;

        高表面地貌處理能力;

        不同尺寸晶圓的橋接能力

         

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