<source id="jdbwm"></source>
    <noscript id="jdbwm"><tbody id="jdbwm"></tbody></noscript>

      <i id="jdbwm"><ins id="jdbwm"></ins></i>
    1. <rt id="jdbwm"><kbd id="jdbwm"><em id="jdbwm"></em></kbd></rt>
      1. <noscript id="jdbwm"></noscript>
        <small id="jdbwm"><tbody id="jdbwm"><noframes id="jdbwm"></noframes></tbody></small>

        久久蜜臀精品av_女王调教_搞黄网站在线观看_水野朝阳理论片在线播放_来一水AV@lysav

        當前位置:首頁  >  技術文章  >  接近式光刻機在性能上都有哪些指標?

        接近式光刻機在性能上都有哪些指標?

        更新時間:2022-05-12  |  點擊率:1017
          接近式光刻機又名:曝光系統(tǒng),光刻系統(tǒng)等,是一種用于信息科學與系統(tǒng)科學、能源科學技術、電子與通信技術領域的工藝試驗儀器。其工作方式是通過光的作用,將掩模版上的電路圖形投影到產(chǎn)品表面光刻膠上,然后顯影出圖形,最后經(jīng)過蝕刻、離子植入等制程定型形成有效的電路。
         

         

          工作原理:
          接近式光刻機通過一系列的光源能量、形狀控制手段,將光束透射過畫著線路圖的掩模,經(jīng)物鏡補償各種光學誤差,將線路圖成比例縮小后映射到硅片上,不同光刻機的成像比例不同,有5:1,也有4:1。然后使用化學方法顯影,得到刻在硅片上的電路圖。
          一般的光刻工藝要經(jīng)歷硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻膠、軟烘、對準曝光、后烘、顯影、硬烘、激光刻蝕等工序。經(jīng)過一次光刻的芯片可以繼續(xù)涂膠、曝光。越復雜的芯片,線路圖的層數(shù)越多,也需要更精密的曝光控制過程。現(xiàn)在先進的芯片有30多層。
         
          性能指標:
          接近式光刻機的主要性能指標有:支持基片的尺寸范圍,分辨率、對準精度、曝光方式、光源波長、光強均勻性、生產(chǎn)效率等。
          分辨率是對光刻工藝加工可以達到的最細線條精度的一種描述方式。光刻的分辨率受受光源衍射的限制,所以與光源、光刻系統(tǒng)、光刻膠和工藝等各方面的限制。
          對準精度是在多層曝光時層間圖案的定位精度。
          曝光方式分為接觸接近式、投影式和直寫式。
          曝光光源波長分為紫外、深紫外和極紫外區(qū)域,光源有汞燈,準分子激光器等。
        久久蜜臀精品av_女王调教_搞黄网站在线观看_水野朝阳理论片在线播放_来一水AV@lysav
        <source id="jdbwm"></source>
        <noscript id="jdbwm"><tbody id="jdbwm"></tbody></noscript>

          <i id="jdbwm"><ins id="jdbwm"></ins></i>
        1. <rt id="jdbwm"><kbd id="jdbwm"><em id="jdbwm"></em></kbd></rt>
          1. <noscript id="jdbwm"></noscript>
            <small id="jdbwm"><tbody id="jdbwm"><noframes id="jdbwm"></noframes></tbody></small>
            安新县| 凤阳县| 关岭| 韩城市| 陇川县| 邳州市| 甘肃省| 周宁县| 周至县| 红桥区| 苏州市| 惠水县| 仙桃市| 东源县| 新郑市| 弥渡县| 苏尼特左旗| 海阳市| 专栏| 锡林郭勒盟| 泸州市| 察隅县| 惠水县| 肇州县| 铜山县| 客服| 芜湖市| 奈曼旗| 綦江县| 平南县| 榆树市| 兰溪市| 鹿邑县| 镇平县| 泰宁县| 德惠市| 虞城县| 永福县| 忻城县| 海阳市| 万山特区|